干式真空泵销售 无油干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。 干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面: 1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中; 2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒; 3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求; 4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止**溶剂造成污染,适合用干式真空泵; 5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。 江苏干式真空泵|干式真空泵生产,干式螺杆真空泵,是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,两螺杆经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,因此泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔*润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。干式真空泵销售